日前,河北省科技廳發(fā)布了《關(guān)于2023年度河北省科學(xué)技術(shù)獎總評審結(jié)果的公告》,玉田縣唐山晶玉科技股份有限公司申報的“半導(dǎo)體材料精密加工設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目被評為河北省科學(xué)技術(shù)進步獎三等獎。
據(jù)了解,我國作為半導(dǎo)體市場,半導(dǎo)體材料需求也將得到更大的釋放,其中硅片大尺寸和薄片化是半導(dǎo)體材料發(fā)展的一大趨勢。此次獲獎項目創(chuàng)新研發(fā)了工件定位方法、工作臺水平位置調(diào)整以及90°旋轉(zhuǎn),實現(xiàn)對被切割半導(dǎo)體料坯的定位,并通過創(chuàng)新研發(fā)四軸雙工位和導(dǎo)輪位置調(diào)節(jié)裝置,保障線網(wǎng)高速運轉(zhuǎn)時張力的穩(wěn)定,進而提升大尺寸和薄片化半導(dǎo)體材料表面質(zhì)量和加工效率。